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サーフェイスマイクロマシニング : ミニ英和和英辞書
サーフェイスマイクロマシニング[ちょうおん]
=====================================
〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。

: [ちょうおん]
 (n) long vowel mark (usually only used in katakana)

サーフェイスマイクロマシニング : ウィキペディア日本語版
サーフェイスマイクロマシニング[ちょうおん]
サーフェイスマイクロマシニングは、MEMSマイクロマシン)作製技術の一つ。
薄膜(数μm程度)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。
集積回路作製技術に犠牲層エッチングを付加したもの。
#成膜
#リソグラフィ
#エッチング
の繰り返しでデバイスを作製する。
== 関連項目 ==

*バルクマイクロマシニング
*エッチング
さあふえいすまいくろましんく

抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
ウィキペディアで「サーフェイスマイクロマシニング」の詳細全文を読む




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