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マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。 一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。 必ずしもMEMS=マイクロマシンではない。 特に小型ロボット（マイクロロボット）やSF的なものもマイクロマシンと称する場合があるが、このような従来の機械加工で製作された機械はMEMSと呼ばない場合がある。 == マイクロマシン作製技術 == 英語ではmicromachiningという。おもに半導体集積回路作製技術＋マイクロマシン特有の作製技術を指す。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「マイクロマシン」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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