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走査電子顕微鏡 : ミニ英和和英辞書
走査電子顕微鏡[かがみ]
scanning electron microscope
===========================
走査 : [そうさ]
 (n,vs) scanning (e.g., TV)
電子 : [でんし]
 【名詞】 1. (1) electron 2. (2) (esp. as a prefix) electronic 3. electronics 
電子顕微鏡 : [でんしけんびきょう]
 (n) electron microscope
: [こ, ね]
 (n) first sign of Chinese zodiac (The Rat, 11p.m.-1a.m., north, November)
顕微 : [けんび]
 (adj-na,n) microscopic
顕微鏡 : [けんびきょう]
 【名詞】 1. microscope 
走査電子顕微鏡 ( リダイレクト:走査型電子顕微鏡 ) : ウィキペディア日本語版
走査型電子顕微鏡[そうさがたでんしけんびきょう]

走査型電子顕微鏡(そうさがたでんしけんびきょう、Scanning Electron Microscope、SEM)は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子反射電子後方散乱電子、BSE)、透過電子X線カソードルミネッセンス蛍光)、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM()と呼ばれる。
TEMでは主にサンプルの内部、SEMでは主にサンプル表面の構造を微細に観察する。
== 原理 ==

透過型のように試料全体に電子線を当てるのではなく、走査型では細い電子線で試料を走査(scan)し、電子線を当てた座標の情報から像を構築して表示する。観察試料は高真空中(10-3Pa以上)に置かれ、この表面を電界磁界で絞った電子線(焦点直径1-100nm程度)で走査する。走査は直線的だが、走査軸を順次ずらしていくことで試料表面全体の情報を得る。

抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
ウィキペディアで「走査型電子顕微鏡」の詳細全文を読む

英語版ウィキペディアに対照対訳語「 Scanning electron microscope 」があります。




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