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マスフローコントローラ（, MFC）とは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである。単に流量のセンシングだけを行って、制御を行わない場合は、マスフローメータ（）といい、区別することがある。 体積流量計では、ボイル＝シャルルの法則（気体の場合）や化学変化などのために、温度や気圧によって体積流量が変化してしまうことがあるが、その際でも質量は変化しないことから、質量流量計のほうが好まれることがある。 体積流量計や差圧流量計など質量流量計以外の原理の流量計に、流量調整機能を付けて、体積流量換算などによって質量流量計として用いた場合は、マスフローコントローラとは呼ばないのが一般である。 == 用途 == 化学工場、半導体工場、宇宙関係などにおいて、化学反応、温度変化や気圧変化の影響を受けにくいことから、用いられることがある。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「マスフローコントローラ」の詳細全文を読む 英語版ウィキペディアに対照対訳語「 Mass flow controller 」があります。 スポンサード リンク
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