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真空フィードスルー（しんくうフィードスルー、英語：Vacuum feedthrough）は、真空状態を保っている機器の内部へ、電気信号や物理的な運動、流体などを輸送、コントロールするために、真空状態と大気を遮る真空壁に取り付けられる真空部品である。 == フィードスルーの種類 == === 電気フィードスルー === 電気を真空へ送るためのフィードスルーは二つに大別できる。一つは、真空内部のにある機器に電源を供給するためのもの（電源フィードスルー）であり、もう一つは真空内部にある機器との電気信号のための（機器フィードスルー）である。いずれにせよ、真空壁への取り付けには絶縁を要するが、絶縁にはアルミナなどのセラミックが使用され、ろう付けやコバール接続などで取り付けられる。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「真空フィードスルー」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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