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窒化タンタル : ウィキペディア日本語版
窒化タンタル

窒化タンタル(Tantalum nitride)は、タンタル窒化物である。やその他の導電性金属の間のバリアや「糊」の層、また熱酸化物等の誘電絶縁体フィルムの製造に使われることがある。これらのフィルムは、集積回路の製造の際に、薄膜抵抗器等として、シリコンウェハーの上に沈着される。
==出典==




抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
ウィキペディアで「窒化タンタル」の詳細全文を読む



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