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ミニマル ファブ（Minimal fab）とは、極小規模で半導体製造工場を形成し、少量の半導体チップを低コストかつ短期間で製造可能にすることを目的とした半導体製造システムの構想、またはその装置群。小規模化により、製造設備投資額を従来の1/1000に縮小することを目指している。 2008年に独立行政法人産業技術総合研究所（産総研）がコンセプトを提案した。2010年より、産総研が主体となってコンソーシアムを形成してミニマルファブの開発を開始した。2012年からは、経済産業省プロジェクトとして開発が進められている。2014年現在、一部のミニマル製造装置は実用レベルに達しており、受注生産を開始している。 ミニマルファブは少量向けの実用生産システムであるが、少量の半導体チップ製造が容易になることで、新たな電子機器の研究開発や製品化に大きく貢献することが期待されている。 == 特徴 == 直径12.5mmまたは13.5mmの小径ウェハを「シャトル」という密閉容器に入れて装置間をハンドリングすることで、クリーンルームではない環境下で製造ラインを構築することを目標としている。 個々の製造装置は幅294 mm×奥行き450 mm×高さ1440 mmというコンパクトな外形寸法に外観デザインを含めて規格統一を目指している。操作画面などのユーザーインターフェース部も規格化され全装置で統一が図られている。 ウェハと装置の小型化に伴い、薬液の供給・廃棄設備も縮小あるいは不要となり、電源も家庭用単相100 Vであるため、製造工場の設備投資が大幅に軽減されることが期待されている。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「ミニマルファブ」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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