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Trichlorofluorosilane : ウィキペディア英語版
Trichlorofluorosilane

Trichlorofluorosilane (Silicon trichloride fluoride) is an inorganic compound. It is used to produce silicon for use in the manufacturing of semiconductor and fiber optic materials.〔(【引用サイトリンク】 title=Preparation of mixed-halogen halo-silanes, US 7030260 B2 )
==References==



抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
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