翻訳と辞書 Words near each other ・ RIDGE RACER 64 ・ Ridge Racer DS ・ ridicule ・ ridiculed as a puppet of ~, be ・ ridiculous ・ Riding ・ RIDING BEAN ・ riding horse ・ riding plow ・ riducing agent ・ RIE ・ Rie ・ Rie & Qoonie ・ Rie a.k.a. Suzaku ・ Rie a.k.a.Suzaku ・ Rie eto ・ Rie Fu ・ Rie fu ・ Rie tomosaka best ・ Rie tomosaka best +3 Dictionary Lists mini英和辞書 mini和英辞書 Webster 1913 Latin-English FOLDOC Wikipedia English ウィキペディア

翻訳と辞書　辞書検索 [ 開発暫定版 ] スポンサード リンク RIE ： ミニ英和和英辞書 RIE RIE ： ミニ英和和英辞書 RIE radioimmunoelectro-phoresis =========================== RIE （ リダイレクト：反応性イオンエッチング ） ： ウィキペディア日本語版 反応性イオンエッチング[はんのうせいいおんえっちんぐ] 反応性イオンエッチング (Reactive Ion Etching; RIE) はドライエッチングに分類される微細加工技術の一つである。 原理としては、反応室内でエッチングガスに電磁波などを与えプラズマ化し、同時に試料を置く陰極に高周波電圧を印加する。すると試料とプラズマの間に自己バイアス電位が生じ、プラズマ中のイオン種やラジカル種が試料方向に加速されて衝突する。その際、イオンによるスパッタリングと、エッチングガスの化学反応が同時に起こり、微細加工に適した高い精度でのエッチングが行える。 通常のドライエッチングと違い、異方性エッチングも出来ることが特徴である。 == プラズマ発生法による分類 == * 容量結合型(平行平板型)(CCP-RIE:Capacitive Coupled Plasma-RIE) * 誘導結合型(ICP-RIE:Inductive Coupled Plasma-RIE) * ECR-RIE(Electron Cyclotron Resonance-RIE) 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「反応性イオンエッチング」の詳細全文を読む 英語版ウィキペディアに対照対訳語「 Reactive-ion etching 」があります。 RIE ： 部分一致検索 反応性イオンエッチング[はんのうせいいおんえっちんぐ] =========================== 「 RIE 」を含む部分一致用語の検索リンク（ 2 件 ） RIE RIEP スポンサード リンク 翻訳と辞書 : 翻訳のためのインターネットリソース Copyright(C) kotoba.ne.jp 1997-2016. All Rights Reserved.